β-SiC on SiO2 formed by ion implantation and bonding for micromechanics applications
Identification
- Clé publique
- radar:r-6656793f1a0340fc69b1fb29e8497fdb
- Auteurs
- C. Serre · A. Romano-Rodrı́guez · A. Pérez-Rodrı́guez · J.R. Morante · L. Fonseca · M.C. Acero · R. Kögler · W. Skorupa
- Année déclarée
- —
- Langue déclarée
- en
- Type source
- journal-article
- Première détection
- 2026-11-13T09:16:05.803859+00:00
- Dernière observation des métadonnées
- 2026-11-13T09:16:05.803859+00:00
- Dernière vérification HTTP
- Non effectuée
Identifiants
- DOI
- 10.1016/s0924-4247(98)00311-2
- ISSN
- 0924-4247
Repères documentaires
- Famille documentaire
- article
- Types déclarés par les sources
- journal-article
- Éditeurs
- Elsevier BV
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Sources
Crossref · Document 1
Citer cette référence
C. Serre; A. Romano-Rodrı́guez; A. Pérez-Rodrı́guez; J.R. Morante; L. Fonseca; M.C. Acero; R. Kögler; W. Skorupa. β-SiC on SiO2 formed by ion implantation and bonding for micromechanics applications. https://doi.org/10.1016/s0924-4247(98)00311-2
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- APA
- C. Serre; A. Romano-Rodrı́guez; A. Pérez-Rodrı́guez; J.R. Morante; L. Fonseca; M.C. Acero; R. Kögler; W. Skorupa. β-SiC on SiO2 formed by ion implantation and bonding for micromechanics applications. https://doi.org/10.1016/s0924-4247(98)00311-2
- Chicago
- C. Serre; A. Romano-Rodrı́guez; A. Pérez-Rodrı́guez; J.R. Morante; L. Fonseca; M.C. Acero; R. Kögler; W. Skorupa. β-SiC on SiO2 formed by ion implantation and bonding for micromechanics applications. https://doi.org/10.1016/s0924-4247(98)00311-2
- ISO 690
- C. Serre; A. Romano-Rodrı́guez; A. Pérez-Rodrı́guez; J.R. Morante; L. Fonseca; M.C. Acero; R. Kögler; W. Skorupa. β-SiC on SiO2 formed by ion implantation and bonding for micromechanics applications. https://doi.org/10.1016/s0924-4247(98)00311-2
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UDTR — Bibliothèque juridique mondiale des droits de la Nature. β-SiC on SiO2 formed by ion implantation and bonding for micromechanics applications. Notice documentaire: https://www.declarationuniverselledesdroitsdelarbre.org/global-rights-of-nature-radar/reference/r-6656793f1a0340fc69b1fb29e8497fdb/ · Dernière vérification HTTP : non effectuée
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Source bibliographique / publication d’origine · https://doi.org/10.1016/s0924-4247(98)00311-2
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